杏彩体育唯一官网:废料处理方法与流程

　　本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种废料处理方法，以降低对废靶中铟回收的回收成本。

　　为了解决上述技术问题之一，本发明提供一种废料处理方法，所述废料包括废靶和刻蚀废液；所述废靶中包括含铟的金属单质或含铟的金属氧化物，所述废料处理方法包括：

　　优选地，将所述第一溶液中的锡离子分离出来的步骤包括：将铟板浸入所述第一溶液中，以置换出锡单质。

　　优选地，将所述第二溶液中的铟离子分离出来的步骤包括：将活泼性大于铟的金属溶于所述第二溶液中，以置换出铟单质。

　　优选地，所述废靶中包括in2o3和sno2；所述刻蚀废液中包括h2so4、hno3、ch3cooh、h2o以及以离子形式存在的铟和锡。

　　优选地，所述废靶中in2o3和sno2的重量份数分别为：in2o3为85～95份、sno2为5～15份。

　　优选地，所述废靶中in2o3和sno2重量份数分别为：in2o3为90份、sno2为10份。

　　优选地，将待处理的废靶溶解于能够溶解该废靶的刻蚀废液中的步骤包括：将所述废靶进行破碎和球磨成粉末状后，溶于所述刻蚀废液中。

　　本发明提供了一种对废靶与刻蚀废液综合进行处理的方式，利用刻蚀废液中的废酸来对废靶进行处理以回收废靶中的铟的方式，可以减少无机酸和无机碱的使用，降低成本；且将废靶溶于刻蚀废液后，刻蚀废液中的铟离子也增多，降低铟回收难度和成本，从而可以以较低的成本和难度同时回收废靶和刻蚀废液中的铟。另外，将刻蚀废液与废靶综合利用，处理过程中不会产生大量废水，对资源循环再利用具有重要意义。

　　附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

　　以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

　　作为本发明的一方面，提供一种废料处理方法，所述废料包括溅射工艺所产生的废靶和刻蚀工艺所产生的刻蚀废液，所述废靶中包括含铟的金属单质或含铟的金属氧化物。如图1所示，所述废料处理方法包括：

　　s1、将待处理的废靶溶解于能够溶解该废靶的刻蚀废液中，得到第一溶液，该第一溶液中包含铟离子。

　　s2、将所述铟离子从其所在的溶液中分离出来，得到海绵铟。其中，所述海绵铟是指疏松多孔、形状类似海绵的铟金属。

　　在显示面板的生产工艺中，膜层图案主要工艺为物理溅射沉积成膜、掩膜板光刻和湿法刻蚀，其中湿刻工艺会产生大量刻蚀废液，含有较高的硫酸、硝酸、醋酸等废酸以及少量的铟离子。对于刻蚀废液，现有技术中主要利用无机碱中和处理，这种方式不仅浪费无机碱和废液中的酸资源，而且会产生大量的废水，进一步造成环境负担；同时刻蚀废液中的铟离子含量不足0.1％，回收工艺复杂，且成本较高。对于废靶，现有技术中主要利用无机酸对废靶进行处理，以进行铟回收，从而导致的大量无机酸的浪费。

　　与现有技术中将废靶和刻蚀废液分开处理的方式相比，本发明提供了一种将废靶和刻蚀废液综合处理的方法，利用刻蚀废液中的废酸来对废靶进行处理以回收废靶中的铟，可以减少无机酸和无机碱的使用，降低成本；且将废靶溶于刻蚀废液后，刻蚀废液中的铟离子也增多，降低铟回收难度和成本，从而可以以较低的成本和难度同时回收废靶和刻蚀废液中的铟。另外，将刻蚀废液与废靶综合处理，处理过程中不会产生大量废水，对资源循环再利用具有重要意义。

　　下面以所述废靶包括氧化铟锡(ito)为例，对所述处理方法进行具体介绍。其中，所述废靶中包括：in2o3和sno2；所述废靶中in2o3和sno2的重量份数分别为：in2o3为85～95份；sno2为5～15份；具体地，in2o3为90份、sno2为10份。所述刻蚀废液中包括h2so4、hno3、ch3cooh、h2o以及少量以离子形式存在的铟和锡；其中，h2so4、hno3、ch3cooh和h2o的重量份数分别为：h2so4为5～10份、hno3为5～10份、ch3cooh为3～7份、h2o为75～85份；刻蚀废液中铟离子含量在750～800ppm之间；刻蚀废液中锡离子含量在80～100ppm之间。具体地，h2so4为9份、hno3为6份、ch3cooh为5份、h2o为80份；铟离子含量为780ppm、锡离子含量为95ppm。

　　s1、将待处理的废靶溶解于能够溶解该废靶的刻蚀废液中，得到第一溶液，第一溶液中包含铟离子和锡离子。该步骤s1具体包括：根据刻蚀废液中各成分的含量计算每单位体积的溶液可溶解的氧化铟锡粉末的重量，并根据所述废靶的重量称取相应体积的刻蚀废液。之后，将所述废靶在1000℃下煅烧30min，然后取出放于冷水中冷淬至常温，机械破碎后球磨成粉末状后，溶于所述刻蚀废液中；并加热搅拌直至溶解结束，过滤后得到第一溶液。其中，所述废靶磨成的粉末的颗粒粒径小于75μm。

　　s21、将第一溶液中的锡离子分离出来，得到第二溶液。具体可以采用置换的方式将锡离子分离出来，该步骤s21包括：将铟板浸入所述第一溶液中，以置换出锡单质；其中，所使用的铟板可以为纯度大于99.5％的纯铟板；置换时的反应温度在70℃左右。经过置换后，锡单质附着在铟板上，这时，将其从铟板上剥离即可。当然，也可以采用电解的方式将锡离子从第一溶液中分离。

　　s22、将第二溶液中的铟离子分离出来。具体地，该步骤s22包括将活泼性大于铟的金属溶于所述第二溶液中，以置换出铟单质，经过过滤后得到海绵铟。在本发明中，步骤s22中采用的金属为活泼性较强且成本较低的锌金属，为了加快反应，可以将锌粉磨成粒度在1～10μm之间的锌粉。另外，过滤出海绵铟后，剩余的含锌溶液可以用于进一步回收锌金属。

　　步骤s2之后还包括：s3、对所述海绵铟进行提纯。该步骤s3具体包括：采用火法精炼的方法对所述海绵铟进行提纯。经过提纯后，可以得到纯度大于99％的高纯铟。在火法精炼时，将海绵铟置于碱性溶液(例如，koh)中，并在300℃左右进行火法精炼。

　　以上为对本发明提供的废料处理方法的描述，可以看出，本发明利用刻蚀废液中的废酸来对废靶进行处理以回收废靶中的铟的方式，可以减少无机酸和无机碱的使用，降低成本；且将废靶溶于刻蚀废液后，刻蚀废液中的铟离子也增多，降低铟回收难度和成本，从而可以以较低的成本和难度同时回收废靶和刻蚀废液中的铟。另外，将刻蚀废液与废靶综合利用，处理过程中不会产生大量废水，对资源循环再利用具有重要意义。

　　可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

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